硅烷燃烧净化塔

◎ 工艺简介

RT型不锈钢硅烷燃烧净化塔是处理硅烷、氨气及其他碱性可溶性气体的废气净化设备，主要用于处理太阳能电池生产线行业以及PECVD化学气相沉积工艺所产生的废气。本公司依托自身技术能力的优势，积极消化进口同类先进设备，在有关研究设计单位、经过多年的努力，终于成功研制出具有世界先进水平的尺丁型不锈钢硅烷燃烧净化塔。本产品在结构上主要由不锈钢壳体、燃烧系统、洗涤系统和清渣系统组成。在进气方面采用压缩空气加新风进气0双进风形式，提高产品运行效率和可靠性。在喷淋系统方面，采用循环水泵与自动补水相结合的方法，风机采用一用一备形式，这些工艺特点使得本产品在安全可靠性方面得到极大保证。内部燃烧室采用特殊的泄压装置，即使在内部压力突然增大的情况下仍能正常工作，同时配备了氮气入口，更加大了设备的安全性。在粉尘收集方面采用静压沉积的方法，沉积下来的粉尘通过排渣0排出，这使粉尘收集处理变得更容易、更有效。经权威部门实测，客户单位硅烷（SiH4）去除率）99.99%，氨气（NH3）以及其它水溶性气体的净化率高达99.99％。

◎ 配置清单

备注：具体设备配置根据生产线所产生的废气量大小选型设计。

◎ 工作原理

本产品采用优质不锈钢板制造，根据硅烷与空气接触而自燃的特性，使硅烷在燃烧室与空气接触燃烧，燃烧后的气体穿过填料层再进入燃烧塔喷淋室，经过喷雾处理，使废气与中和循环液充分接触反应，然后进入脱液器脱液处理后由抽风机排入大气，达标排放。

◎ 技术特点

硅烷（SiH4）去除率≥99.99%，氨气（NH3）以及其它水溶性气体的净化率高达99.99％。

◎ 行业应用

该设备适用范围：太阳能光伏、多晶硅生产线、电子行业等硅烷燃烧净化废气治理。